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P產(chǎn)品分類RODUCT CATEGORY

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半導(dǎo)體拋光液制備裝置

描述:半導(dǎo)體拋光液制備裝置是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體拋光液的專用設(shè)備。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-08-14
  • 訪問(wèn)量:243
產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標(biāo)題:半導(dǎo)體拋光液制備裝置

產(chǎn)品概述

半導(dǎo)體拋光液制備裝置是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體拋光液的專用設(shè)備。


它通常由以下幾個(gè)主要部分構(gòu)成:


原料儲(chǔ)存系統(tǒng)


  • 多個(gè)不同規(guī)格的儲(chǔ)罐,分別用于存放磨料(如納米級(jí)二氧化硅、氧化鋁等)、化學(xué)添加劑(如氧化劑、表面活性劑、螯合劑等)以及溶劑(如水、有機(jī)溶劑等)。


精確計(jì)量系統(tǒng)


  • 高精度的計(jì)量泵或稱重傳感器,能夠按照精確的配方比例準(zhǔn)確地添加各種原料。


攪拌混合系統(tǒng)


  • 強(qiáng)力攪拌器或均質(zhì)機(jī),確保各種原料充分混合均勻,達(dá)到微觀層面的均勻性。


溫度控制系統(tǒng)


  • 加熱和冷卻裝置,可根據(jù)需要控制反應(yīng)和混合過(guò)程中的溫度,以優(yōu)化化學(xué)反應(yīng)和物理混合效果。


過(guò)濾系統(tǒng)


  • 精細(xì)的過(guò)濾裝置,如微孔過(guò)濾器或超濾膜,用于去除可能存在的大顆粒雜質(zhì)和團(tuán)聚物,保證拋光液的純凈度。


質(zhì)量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)


  • 在線粒度分析儀:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)磨料顆粒的粒徑分布。

  • pH 計(jì):檢測(cè)溶液的酸堿度。

  • 電導(dǎo)率儀:測(cè)量溶液的電導(dǎo)率,以評(píng)估溶液中離子的含量。


自動(dòng)化控制系統(tǒng)


  • 對(duì)整個(gè)制備過(guò)程進(jìn)行自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)記錄,保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。


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